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ME-L 是一款科研級全自動高精度穆勒矩陣型橢偏儀，凝聚了頤光科研團(tuán)隊在橢偏技術(shù)多年的研發(fā)投入，其采用行業(yè)前沿的創(chuàng)新技術(shù)，包括消色差補(bǔ)償器、雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器同步控制、穆勒矩陣數(shù)據(jù)分析等。 可應(yīng)用于各種各向同性/異性薄膜材料膜厚、光學(xué)納米光柵常數(shù)以及一維/二維納米光柵材料結(jié)構(gòu)的表征分析。 全自動變角、對焦技術(shù)，一鍵快速測量； 向?qū)Ы换ナ饺藱C(jī)界面，便捷的軟件操作體驗； 豐富的材料數(shù)據(jù)庫與算法模型庫，強(qiáng)大的

教學(xué)橢偏儀,Mapping系列光譜橢偏儀是全自動高精度Mapping繪制化測量光譜橢偏儀，配置全自動Mapping運動機(jī)構(gòu)，通過橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測量，快速實現(xiàn)薄膜全基片的膜厚及光學(xué)參數(shù)自定義繪制化測量表征。

橢偏儀廠家的SE-VM光譜橢偏儀是一款高精度快速測量光譜橢偏儀,可實現(xiàn)科研/企業(yè)級高精度快速光譜橢偏測量，支持多角度、微光斑、可視化調(diào)平系統(tǒng)等高兼容性靈活配置，支持多功能模塊定制化設(shè)計。

國產(chǎn)橢偏儀,SE-VE光譜橢偏儀是一款高性價比快速測量光譜橢偏儀,緊湊集成化設(shè)計，操作簡便，一鍵快速測量和向?qū)Ы换ナ饺藱C(jī)界面，具有豐富的材料數(shù)據(jù)庫和算法模型庫、強(qiáng)大的數(shù)據(jù)分析能力。

針對微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測量定制的專用型光譜橢偏儀

橢圓偏光儀,橢偏在線監(jiān)測裝備針對LCD、OLED等新型平板顯示量產(chǎn)中所涉及的PI配向膜、光刻膠薄膜、ITO薄膜、有機(jī)發(fā)光薄膜、有機(jī)/無機(jī)封裝薄膜等質(zhì)量控制需要，專門設(shè)計的在線薄膜測量系統(tǒng)。可適用于空氣、N2、真空等環(huán)境條件，自動實現(xiàn)玻璃基板上各種膜系結(jié)構(gòu)厚度分布、光學(xué)常數(shù)分布的全片快速掃描測量。

紅外橢偏儀,SE-i光譜橢偏儀針對有機(jī)/無機(jī)鍍膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化開發(fā)，可通過橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測量，橢偏測量頭快速實現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析

穆勒矩陣光譜橢偏儀,橢偏檢測機(jī)臺通過整體高度集成技術(shù)，實現(xiàn)不同橢偏測量模塊在線/離線式整體橢偏測量解決方案。