一、產(chǎn)品概述

HRSR膜厚傳感器提供半導(dǎo)體復(fù)雜膜層在線量測解決方案。

二、膜厚傳感器產(chǎn)品特點(diǎn)

■ 超精密厚度測量，滿足5μm-800um的厚度監(jiān)測 ；

■ 可測量所有具有粗糙、反射或不透明表面 ；

■ 對惡劣的工業(yè)環(huán)境適應(yīng)性高 ；

■ 對熱、濕或振動不敏感；

■ 采樣速率大于3KHz。

三、測量原理

技術(shù)參數(shù)

武漢頤光科技有限公司(Wuhan eoptics Technology Co., Ltd.)是國內(nèi)專業(yè)從事橢偏儀以及光學(xué)納米測量設(shè)備研發(fā)、制造與銷售的高新技術(shù)企業(yè)，公司由多位具有二十多年偏振光學(xué)測量經(jīng)驗(yàn)的專家聯(lián)合創(chuàng)辦，與華中科技大學(xué)緊密合作，是國內(nèi)橢偏光學(xué)儀器領(lǐng)域頗具優(yōu)勢的技術(shù)團(tuán)隊(duì)。

公司注冊于武漢東湖國家自主創(chuàng)新示范區(qū)，立足光谷，面向全球，為科研和工業(yè)用戶提供儀器、軟件、服務(wù)等綜合解決方案。

產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路、半導(dǎo)體、光伏太陽能、平板顯示、LED照明、存儲、生物、醫(yī)藥、化學(xué)、電化學(xué)、光學(xué)鍍膜、光刻材料等眾多領(lǐng)域。